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液氬是將高純氬氣壓縮成液體氣體，儲(chǔ)存在杜瓦罐中。液氬在使用時(shí)釋放氣相。當(dāng)液氬儲(chǔ)存在杜瓦罐中時(shí)，會(huì)有一個(gè)自然的增壓過程。當(dāng)其壓力過高時(shí)，杜瓦罐會(huì)安全泄壓。在這個(gè)自然增壓和減壓的過程中，氬氣很容易釋放。

氬氣儲(chǔ)存方法

氬氣可在低于-184℃的溫度下以液態(tài)形式儲(chǔ)存和運(yùn)送，但焊接用氬氣大多裝于鋼瓶中使用。

氬氣瓶是一種鋼制圓柱形高壓容器，其外表面涂成灰色并注有綠色“氬”字標(biāo)志字樣。

氬氣瓶在使用中嚴(yán)禁敲擊、碰撞、瓶閥凍結(jié)時(shí)，不得用火烘烤；不得用電磁起重搬運(yùn)機(jī)搬運(yùn)氬氣瓶；夏季要防日光暴曬；瓶內(nèi)氣體不能用盡，返廠氬氣瓶氣余壓力應(yīng)不小于0.2MPa；氬氣瓶一般直立放置。

高純氬氣不僅用于焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等，氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護(hù)氣，可以提高硅晶體的質(zhì)量。高純氬氣可用于系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓的惰性氣體，高純氬也可用作色譜載氣。

氬氣的技術(shù)指標(biāo)
液氬/5.0N:氬氣含量99.999%,氫≤0.5ppm,氧≤1.5ppm,氮≤4ppm,一氧化碳≤0.3ppm,二氧化碳≤0.4ppm,甲烷≤0.4ppm,水分≤3ppm
純氬/4.0N:氬氣含量99.99%,氫≤5ppm,氧≤10ppm,氮≤50ppm,一氧化碳≤5ppm,二氧化碳≤10ppm,甲烷≤5ppm,水分≤15ppm
高純氬/4.0N:氬氣含量99.999%,氫≤0.5ppm,氧≤1.5ppm,氮≤4ppm,一氧化碳≤0.3ppm,二氧化碳≤0.3ppm,甲烷≤0.4ppm,水分≤3ppm
超純氬/4.0N:氬氣含量99.9999%,氫≤0.1ppm,氧≤0.2ppm,氮≤0.5ppm,一氧化碳≤0.1ppm,二氧化碳≤0.1ppm,甲烷≤0.1ppm,水分≤0.2ppm
氮?dú)獾陌b規(guī)格
50L鋼瓶:氣體壓力19.5±0.5MPa,氣體體積10000L,氣體凈重15.9kg
40L鋼瓶:氣體壓力13.5MPa,氣體體積5400L,氣體凈重8.6kg
10L鋼瓶:氣體壓力10MPa,氣體體積1000L,氣體凈重1.6kg
4L鋼瓶:氣體壓力10MPa,氣體體積400L,氣體凈重0.6kg
杜瓦罐:氣體壓力1.6~3.4MPa,氣體體積130~151Nm3,氣體凈重214~250kg
槽車:氣體壓力0.8MPa,氣體凈重20噸以上
鋼瓶接口:QF-2、PX-32外螺紋/內(nèi)螺紋,螺紋出口G5/8(外徑22.911,牙數(shù)為14牙/英寸,螺距為1.814毫米,牙高1.162,小徑20.587,CGA581)